“我們現(xiàn)在只看半導(dǎo)體設(shè)備零部件及材料賽道，尤其是半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域?！苯?，一位私募股權(quán)投資基金(PE)的投資總監(jiān)在第十一屆中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會半導(dǎo)體設(shè)備年會上向上海證券報記者表示。

記者從現(xiàn)場采訪了解到，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備、核心部件等市場滲透率在5%以下的領(lǐng)域，正在加速發(fā)展。PE機構(gòu)已準(zhǔn)備通過并購基金參與下半場競爭，助力被投企業(yè)做大做強。

此外，記者注意到，包括富創(chuàng)精密、江豐電子、新萊應(yīng)材等在內(nèi)的多家A股上市公司，已積極投入半導(dǎo)體零部件領(lǐng)域。

(資料圖)

量檢測設(shè)備及核心零部件受熱捧

“回溯2016年起的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，前3年是半導(dǎo)體設(shè)備、設(shè)計公司的高光時刻，最近2年尤其今年，半導(dǎo)體核心零部件進入騰飛階段?！眲?chuàng)業(yè)7年，蕪湖通潮精密機械股份有限公司(下稱“通潮精密”)董事長司奇峰對于“產(chǎn)業(yè)變遷”深有感觸。

通潮精密于2019年跨入半導(dǎo)體核心零部件領(lǐng)域，布局真空部件清洗，半導(dǎo)體設(shè)備零件三氧化二鋁等噴涂服務(wù)、陽極氧化再生，新品部件加工等業(yè)務(wù)，已有國內(nèi)客戶80多家。

資料顯示，隨著晶圓廠擴產(chǎn)等，半導(dǎo)體材料及部件需求持續(xù)增長。2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場約為1076億美元，對應(yīng)的零部件市場規(guī)模約為538億美元。其中，中國半導(dǎo)體設(shè)備、對應(yīng)零部件市場分別約為283億美元、140億美元，中國本土零部件企業(yè)的市場份額僅約25%，潛在市場空間很大。

“半導(dǎo)體量檢測設(shè)備、核心部件等市場滲透率在5%以下的領(lǐng)域，逐步得到資本青睞，也得到晶圓廠封測廠更多的驗證支持，正在加速發(fā)展。”元禾璞華董事總經(jīng)理?？X介紹。渾璞投資合伙人姜寅明則表示，核心零部件的重要性不亞于整機設(shè)備，PE可以給予估值溢價。

半導(dǎo)體零部件的研發(fā)有多難?一個小小的密封圈，就讓一家初創(chuàng)公司奮戰(zhàn)了五六年。

溫州邦欣源科技有限公司董事長丁曉榮告訴記者，針對本土產(chǎn)品顆粒物超標(biāo)、耐高溫差等缺陷，邦欣源從源頭功能注劑發(fā)力，經(jīng)過五六年的奮戰(zhàn)，終于開發(fā)出耐高溫的密封圈產(chǎn)品，超越了杜邦最高溫327攝氏度的產(chǎn)品。聞及邦欣源的研發(fā)進展，某半導(dǎo)體真空設(shè)備廠商研發(fā)人員主動提出對接技術(shù)交流。

資料顯示，電子級專用密封圈的市場長期由杜邦、GT、PPE等國際公司壟斷，閥件則由VAT、SMC、V-TEX等全球性的真空閥門企業(yè)壟斷。

“舉個例子，在碳化硅襯底和外延片出貨階段的缺陷檢測上，全球只有兩款設(shè)備，分別是美國KLA(科磊)的Candela CS8520、日本Lasertec 的Sica88，現(xiàn)在后者的交貨周期是2年?！睂τ诎雽?dǎo)體量檢測設(shè)備的研發(fā)難度及市場空間，上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司總經(jīng)理唐德明直言，長期以來，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備幾乎由KLA獨家壟斷，隨著制程技術(shù)發(fā)展、碳化硅等新需求增長，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備的重要性更加凸顯。

面對火熱的賽道，半導(dǎo)體零部件從業(yè)者則頗為冷靜。作為從業(yè)20多年的“老兵”，托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備(啟東)有限公司副總經(jīng)理李昌哲表示，機遇當(dāng)前也要尊重生態(tài)圈，托倫斯選擇的商業(yè)模式是只對設(shè)備原廠做技術(shù)開發(fā)，不會直接對接晶圓廠。

多公司搶先布局放大產(chǎn)業(yè)協(xié)同價值

“這個行業(yè)中沒有人是孤島，產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同才能更快發(fā)展。”對于半導(dǎo)體零部件的發(fā)展路徑，新陽硅密(上海)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(下稱“新陽硅密”)副董事長印瓊玲在演講中表示，資本加持+產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，半導(dǎo)體零部件才能發(fā)展得更好、更快。

事實上，新陽硅密正是走協(xié)同發(fā)展路線，在半導(dǎo)體濕法制程電鍍設(shè)備及相關(guān)濕法裝備上實現(xiàn)了快速突破。印瓊玲介紹，新陽硅密的股東之一上海新陽，是國內(nèi)領(lǐng)先的電鍍材料廠商;股東盛吉盛作為設(shè)備廠商，與中芯國際緊密合作。新陽硅密與股東方形成了設(shè)備、材料、用戶的合作研發(fā)。

記者注意到，除了上海新陽這樣間接參與的，還有富創(chuàng)精密、江豐電子、新萊應(yīng)材、精測電子等上市公司則直接發(fā)力半導(dǎo)體設(shè)備零部件賽道。

“現(xiàn)在產(chǎn)業(yè)下行周期，富創(chuàng)精密正在加速研發(fā)和擴產(chǎn)，盡管只有20多億元銷售額但已經(jīng)具備超過45億元的產(chǎn)能?！备粍?chuàng)精密董事長鄭廣文表示，盡管當(dāng)前本土半導(dǎo)體零部件企業(yè)發(fā)展面臨著規(guī)模小、重資產(chǎn)、大投入、研發(fā)周期長、單品市場空間小等難題，但產(chǎn)業(yè)必須大力發(fā)展，產(chǎn)業(yè)鏈公司更要敢于逆勢投資。

2020年中，美國MOCVD設(shè)備廠商Veeco發(fā)出禁止SGL出售石墨盤(晶圓承載器)的禁令，使得華燦光電股價重挫?，F(xiàn)在，本土零部件廠商已經(jīng)開始在石墨盤這樣的重要領(lǐng)域發(fā)力。

“江豐在E chuck靜電吸盤、SiC涂層石墨基座等核心部件上取得長足進展?！苯S電子副總經(jīng)理邊逸軍介紹，公司積極布局核心零部件，已設(shè)立了6個量產(chǎn)基地，擁有750臺/套機床設(shè)備，組建了1600人的研發(fā)制造團隊，現(xiàn)在擁有量產(chǎn)客戶120家。

新萊應(yīng)材近期披露，在半導(dǎo)體真空應(yīng)用領(lǐng)域，公司產(chǎn)品包括高真空和超高真空的法蘭、管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金與不銹鋼閘閥、角閥、腔室、加熱帶、視窗、無氧銅墊片等。精測電子則表示其全面布局半導(dǎo)體量檢測領(lǐng)域的膜厚、電子束、OCD(光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備)等設(shè)備。

鑒于行業(yè)特性，半導(dǎo)體零部件的發(fā)展趨勢一定是企業(yè)平臺化。多位PE機構(gòu)投資人透露，已開始準(zhǔn)備并購基金參與下半場競爭，助力被投企業(yè)做大做強。

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